エピタキシャル成長における3次元島形成を利用したナノテクスチャ創成に関する研究

エピタキシャル成長における3次元島形成を利用したナノテクスチャ創成に関する研究
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外延生长中三维岛形成纳米结构的研究

DOI:
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发表时间:
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期刊:
精密工学会誌 (掲載決定)
影响因子:
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通讯作者:
古川勇二
古川勇二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
金子新;藤山孝太郎;角田陽;諸貫信行;古川勇二

文献摘要

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