Interface characteristics of β-Ga2O3/Al2O3/Pt capacitors after postmetallization annealing
Interface characteristics of β-Ga2O3/Al2O3/Pt capacitors after postmetallization annealing
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β-Ga2O3/Al2O3/Pt电容器金属化后退火后的界面特性
DOI：
10.1116/6.0000626
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kiyono Hajime
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirose Masafumi;Nabatame Toshihide;Irokawa Yoshihiro;Maeda Erika;Ohi Akihiko;Ikeda Naoki;Sang Liwen;Koide Yasuo;Kiyono Hajime
