Debris-free soft x-ray generation using a liquid droplet laser-plasma target
Debris-free soft x-ray generation using a liquid droplet laser-plasma target
复制标题
使用液滴激光等离子体靶产生无碎片软 X 射线
DOI：
10.1117/12.221000
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发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L. Malmqvist
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Hertz;L. Rymell;M. Berglund;L. Malmqvist
我们描述了使用小液滴作为激光等离子体软X射线和EUV产生的目标。使用台式激光器，这种直径小于15微米的等离子体源通常在水窗波长范围内产生具有约1（DOT）1012光子/ster-line-pulse的线辐射。该源的主要优点是它几乎没有碎片。我们讨论了软X射线显微镜和光刻的源的应用。
We describe the use of small liquid droplets as target for laser-plasma soft x-ray and EUV generation. Using a table-top laser, this < 15 micrometers diameter plasma source typically produces line radiation with approximately 1(DOT)1012 photons/ster-line-pulse in the water-window wavelength range. The major adcvantages of the source is that it is practically debris free. We discuss applications of the source to soft x-ray microscopy and lithography.