イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価
イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価
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离子混合气相沉积法制备BN薄膜及性能评价
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
花木聡;栗原朗優;山下正人;内田仁
