電子線誘起蒸着法による酸化ハフニウムの堆積
電子線誘起蒸着法による酸化ハフニウムの堆積
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电子束诱导蒸发法沉积氧化铪
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林俊介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ken Nagashima;Josee Maurais;Ken-ichiro Murata,Yoshinori Furukawa;Patrick Ayotte and Gen Sazaki;小林俊介;Ryota Shimizu;小林俊介
