Vacuum ultraviolet light assisted nano-pattern transfer to fabricate nanostructure with heterogeneous materials
Vacuum ultraviolet light assisted nano-pattern transfer to fabricate nanostructure with heterogeneous materials
复制标题
真空紫外光辅助纳米图案转移以异质材料制造纳米结构
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takatoki Yamamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Hashimoto;Katsuo Mogi;Takatoki Yamamoto
