Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography
Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography
复制标题
用于纳米压印光刻的镍印模的质子束制造
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Watt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ansari;P. Shao;J. A. Kan;A. Bettiol;F. Watt
