百瀬 健, 杉山正和, 霜垣幸浩: "超臨界CO_2を用いたCu薄膜堆積:製膜過程の可視化"化学工学会第69年会予稿集. A108 (2004)

百瀬 健, 杉山正和, 霜垣幸浩: "超臨界CO_2を用いたCu薄膜堆積:製膜過程の可視化"化学工学会第69年会予稿集. A108 (2004)
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Ken Momose、Masakazu Sugiyama、Yukihiro Shimogaki:“使用超临界 CO_2 进行铜薄膜沉积:成膜过程的可视化”日本化学工程师学会第 69 届年会记录 A108(2004 年)。

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