K.Shibahara: "Improvement in Sheet Resistance of Sb-Doped Ultra Shallow Junction by Dopant Pileup Reduction at the SiO2/Si"Extend.Abst.of the 1999 Int.Conf.on Solid State Devices and Materials (SSDM'99). 514-515 (1999)
K.Shibahara: "Improvement in Sheet Resistance of Sb-Doped Ultra Shallow Junction by Dopant Pileup Reduction at the SiO2/Si"Extend.Abst.of the 1999 Int.Conf.on Solid State Devices and Materials (SSDM'99). 514-515 (1999)
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K.Shibahara：“通过减少 SiO2/Si 处的掺杂剂堆积来改善 Sb 掺杂超浅结的薄层电阻”1999 年固态器件和材料国际会议 (SSDM99) 的扩展摘要。
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