基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器

基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
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DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
仪表技术与传感器
影响因子:
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通讯作者:
李昕欣
李昕欣
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
魏长征;周伟;李昕欣

文献摘要

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