ミストCVD法によるα型AlGaO混晶組成制御とAl原子の再脱離
ミストCVD法によるα型AlGaO混晶組成制御とAl原子の再脱離
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雾气CVD法α型AlGaO混晶成分控制及Al原子的再脱附
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田茉莉香，田中一郎，宇野和行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Ogawa;T. Shibuya;Y. Moriai;D. Satoh;H. Ikeura-Sekiguchi;E. Terasawa; M. Tanaka;R. Kuroda;太田茉莉香，田中一郎，宇野和行
