内山 賢治, 諸貫 信行, 高山: "異方性エッチングの複合加工によるシリコンの微細規則形状加工"2001年度精密工学会春季大会講演論文集. 216 (2001)
内山 賢治, 諸貫 信行, 高山: "異方性エッチングの複合加工によるシリコンの微細規則形状加工"2001年度精密工学会春季大会講演論文集. 216 (2001)
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Kenji Uchiyama、Nobuyuki Moronuki、Takayama：“通过各向异性蚀刻的组合加工对硅进行精细规则形状加工”2001 年精密工程学会春季会议论文集 216（2001 年）。
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