Selective-mapping of uniaxial and biaxial strains in Si-on-insulator microstructures by polarized microprobe Raman pectroscopy
Selective-mapping of uniaxial and biaxial strains in Si-on-insulator microstructures by polarized microprobe Raman pectroscopy
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通过偏振微探针拉曼光谱选择性映射绝缘体上硅微结构中的单轴和双轴应变
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Miyao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kurosawa;T.Sadoh;M.Miyao
