燃焼炎ダイヤモンド膜の電気特性に及ぼす熱処理温度の影響

燃焼炎ダイヤモンド膜の電気特性に及ぼす熱処理温度の影響
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热处理温度对燃烧火焰金刚石薄膜电性能的影响

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
電子情報通信学会2005年総合大会 C-6
影响因子:
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通讯作者:
金山光一
金山光一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田原雅哉;川畑智史;奥村幸彦;金山光一

文献摘要

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