A.Yuuki: "A Study on Film Precursors in SiH_4 Thermal CVD by Use of Trench Coverage Measurement." Proceeding of 1989 Spring Meeting of Material REsearch Society.(1990)
A.Yuuki: "A Study on Film Precursors in SiH_4 Thermal CVD by Use of Trench Coverage Measurement." Proceeding of 1989 Spring Meeting of Material REsearch Society.(1990)
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A.Yuuki：“利用沟槽覆盖测量对 SiH_4 热 CVD 中的薄膜前驱体进行研究。”
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