N.Yamamoto: "100 nm-Scale Alignment using Laser Beam Diffraction Pattern Observation Techniques and Wafer Fusion for Realizing Three-Dimensional Photonic Crystal Structure"Jpn.J.Appl.Phys. 37. 3334-3338 (1998)
N.Yamamoto: "100 nm-Scale Alignment using Laser Beam Diffraction Pattern Observation Techniques and Wafer Fusion for Realizing Three-Dimensional Photonic Crystal Structure"Jpn.J.Appl.Phys. 37. 3334-3338 (1998)
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N.Yamamoto：“利用激光束衍射图案观察技术和晶圆融合实现三维光子晶体结构的 100 nm 级对准”Jpn.J.Appl.Phys。
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
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作者：
使用利用激光束衍射图案观察技术的对准系统观察GaAs条纹图案
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
10th Int.Workshop Femtosecond Technology (発表)
影响因子：
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作者：
H.Isshiki;A.Polman;T.Kimura;森下 義隆
通讯作者：
森下 義隆