エバネッセント光の工学応用 ～一括露光型マイクロ光造形法の露光エネルギーへの展開とその展望～
エバネッセント光の工学応用 ～一括露光型マイクロ光造形法の露光エネルギーへの展開とその展望～
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倏逝光的工程应用-批量曝光微立体光刻曝光能量的发展及其前景-
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J.Andersson;R.Larsson;A.Almqvist;M. Grahn;I.Minami;原健太郎;Y.Ju;高橋哲
