High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured,using a parallel fatigue test system
High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured,using a parallel fatigue test system
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利用并行疲劳测试系统测量微加工单晶硅的高周疲劳
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Ikehara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Yoshimura;Y.Ichino;Y.Yoshida. Y.Takai;R.Kita;K.Suzuki;T.Takeuchi;川島理恵(研究協力者)・行岡哲生;高橋良和;T. Ikehara
