K.NAKAMURA: "New Inductive rf Discharge Using an Internal Metal Antenna" Japanese Journal of Applied Physics. 34. L1686-L1688 (1995)
K.NAKAMURA: "New Inductive rf Discharge Using an Internal Metal Antenna" Japanese Journal of Applied Physics. 34. L1686-L1688 (1995)
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K.NAKAMURA：“使用内部金属天线的新型感应射频放电”日本应用物理学杂志。
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