Fabrication of Micropatterns on Teflon surface by Proton beam Writing and Nitrogen ion implantation

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质子束写入和氮离子注入在聚四氟乙烯表面制造微图案

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Kamiya
T. Kamiya
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A. Kitamura (Ogawa);T. Satoh;T. Kobayashi;M. Koka;T. Kamiya

文献摘要

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