Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps Using NEG Pills
Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps Using NEG Pills
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使用 NEG 丸的低成本、高性能非蒸发吸气剂 (NEG) 泵
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Mase;T. Kikuchi;H. Kodama;S. Ohno;M. Tanaka;K. K. Okudaira;M. Tanaka
