K.Masu, et al.: "Multilevel Metallization Based on Al CVD" Digest of Technical Papers 1996 Symp.on VLSI Technology, Honolulu. 44-45 (1996)
K.Masu, et al.: "Multilevel Metallization Based on Al CVD" Digest of Technical Papers 1996 Symp.on VLSI Technology, Honolulu. 44-45 (1996)
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K.Masu 等人：“基于 Al CVD 的多层金属化”技术论文摘要 1996 Symp.on VLSI 技术，檀香山。
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