Y.Kaneko, Y.Hiwatari, K.Ohara, T.Murakami: "Kinetic Monte Carlo Simulation of Thin Film Growth with Void Formation -Application to Via Filling-"Technical Proceedings of the Fifth International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems. 430-433
Y.Kaneko, Y.Hiwatari, K.Ohara, T.Murakami: "Kinetic Monte Carlo Simulation of Thin Film Growth with Void Formation -Application to Via Filling-"Technical Proceedings of the Fifth International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems. 430-433
复制标题
Y.Kaneko、Y.Hiwatari、K.Ohara、T.Murakami：“带空隙形成的薄膜生长的动力学蒙特卡罗模拟 - 在通孔填充中的应用 -”第五届国际微系统建模与仿真会议的技术论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
