Effect of Heat Treatment on the Hardness of Ti-Mo-N Films Deposited by RF Reactive Magnetron Sputtering
Effect of Heat Treatment on the Hardness of Ti-Mo-N Films Deposited by RF Reactive Magnetron Sputtering
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热处理对射频反应磁控溅射Ti-Mo-N薄膜硬度的影响
DOI：
10.2320/matertrans.m2010119
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发表时间：
2010
影响因子：
1.2
通讯作者：
Y. Sutou and J. Koike
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Komiyama;Y. Sutou and J. Koike
TiN 和 TiMoN 系统中相平衡的研究
DOI：
10.1016/0025-5416(88)90504-6
发表时间：
1988
影响因子：
6.4
作者：
Walter Lenguaer;P. Ettmayer
通讯作者：
P. Ettmayer
铁素体 Fe-Cr-Al 合金的氮化
影响因子：
5.4
作者：
K. S. Jung;R. Schacherl;E. Bischoff;E. Mittemeijer
通讯作者：
E. Mittemeijer