Development of porous polybenzoxazole films using tert-buthoxycarbonyl group as a pore generator for patternable low dielectric constant materials
Development of porous polybenzoxazole films using tert-buthoxycarbonyl group as a pore generator for patternable low dielectric constant materials
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使用叔丁氧基羰基作为可图案化低介电常数材料的孔发生剂开发多孔聚苯并恶唑薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Naotoshi Nakashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Fukumaru;Tsuyohiko Fujigaya;and Naotoshi Nakashima
