多軸振動工具を用いた表面微細構造の製作
多軸振動工具を用いた表面微細構造の製作
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使用多轴振动工具制造表面微结构
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子 新
中科院分区：
文献类型：
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作者：
諸貫信行;齋藤泰則;金子 新
