Gas-phase diagnostic studies of H 2 and CH 4 inductively coupled plasmas
Gas-phase diagnostic studies of H 2 and CH 4 inductively coupled plasmas
复制标题
H 2 和CH 4 感应耦合等离子体的气相诊断研究
DOI：
10.1116/6.0000090
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发表时间：
2020
影响因子：
2.9
通讯作者：
Fisher, Ellen R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Van Surksum, Tara L.;Fisher, Ellen R.
