“High-speed Processing with ClF3 Cluster Injection”
“High-speed Processing with ClF3 Cluster Injection”
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“利用 ClF3 簇注入进行高速处理”
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Seki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Tang;A.Hosoi;Y.Iwase;Y.Ju;T. Seki
