Aberration and coherence effects with a micromirror array
Aberration and coherence effects with a micromirror array
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微镜阵列的像差和相干效应
DOI：
10.1117/12.2597501
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Benton D
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Benton D
微镜阵列，例如来自Texas Instruments的数字微镜器件（DMD），是幅度调制空间光调制器。二元全息图将空间振幅调制写入设备，并且具有相干源，可以用于通过受控衍射来控制反射光束。在本文中，DMD器件内的固有像差已被确定和校正，通过使用泽尼克模式写入阵列，允许设备配置文件被用作基础特性，在此基础上，其他应用程序可以得到改善。所使用的方法采用了一种使用DMD进行波长测量的技术，DMD聚焦到相机上。反射镜的倾斜动作意味着该装置充当透镜和2D闪耀光栅的混合物。在这种情况下，它还允许基于双色散能力进行相干长度的评估。利用菲涅耳衍射理论建立了从特定DMD图形产生菲涅耳衍射图形的模型，并与实测结果吻合良好。
Micro mirror arrays, such as the Digital Micromirror Device (DMD) from Texas Instruments, are amplitude modulating spatial light modulators. Binary holograms write spatial amplitude modulations to the device and with coherent sources can be used to control reflected beams through controlled diffraction. In this paper the inherent aberrations within the DMD device have been identified and corrected through the use of Zernike modes written to the array allowing a device profile to be used as a foundation characteristic upon which other applications can be improved. The approach used coopts a technique used for wavelength measurement using a DMD which focusses onto a camera. The tilting action of the mirrors means the device acts as a mixture of a lens and 2D blazed grating. In this case it also allows assessments of coherence length to be made based on a dual dispersion capability. A model for producing the Fresnel diffraction pattern from a specific DMD pattern is produced using Fresnel diffraction theory and shows good agreement with measured results.
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