Growth of phase transition VO_2 films with M_2 phase in inductively coupled plasma assisted reactive sputtering
Growth of phase transition VO_2 films with M_2 phase in inductively coupled plasma assisted reactive sputtering
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电感耦合等离子体辅助反应溅射中M_2相相变VO_2薄膜的生长
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Okimura and J. Sakai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Watanabe;Md. Suruz Mian;K.Okimura and J. Sakai
