Arイオンミリングを用いたPb(Zr,Ti)03薄膜断面の形成とAFMによる圧電応答評価

Arイオンミリングを用いたPb(Zr,Ti)03薄膜断面の形成とAFMによる圧電応答評価
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使用 Ar 离子铣削形成 Pb(Zr,Ti)03 薄膜横截面并使用 AFM 评估压电响应

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木久男
鈴木久男
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
宮崎智史;坂元尚紀;川口昂彦;脇谷尚樹;鈴木久男

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