固体三塩化物原料を用いたGaNおよび AlGaNのトリハライド気相成長
固体三塩化物原料を用いたGaNおよび AlGaNのトリハライド気相成長
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使用固体三氯化物原料进行 GaN 和 AlGaN 的三卤化物气相生长
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
纐纈 明伯
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙橋万智;小林真悠子;村上尚;纐纈 明伯
