T. Fujita et. al.: "Vacuum Sealed Silicon Bulk Michromachined Gyroscope"Dig, os tech, Papers the 10th Int. Cons of Solid-State Sensors and Actuators. 914-917 (1999)
T. Fujita et. al.: "Vacuum Sealed Silicon Bulk Michromachined Gyroscope"Dig, os tech, Papers the 10th Int. Cons of Solid-State Sensors and Actuators. 914-917 (1999)
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T.藤田等。
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