化学机械磨削技术研究现状与展望
化学机械磨削技术研究现状与展望
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DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李陈方
中科院分区：
文献类型：
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作者：
任莹晖;周家恒;李伟;周志雄;李陈方
