Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror
Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror
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基于椭球面镜的EUV聚焦系统的研制
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and H. Mimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Motoyama;and H. Mimura
