ハイパワーパルスイオンビームによる材料表面汚染除去技術の研究
ハイパワーパルスイオンビームによる材料表面汚染除去技術の研究
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高功率脉冲离子束材料表面污染物去除技术研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新國崇之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保拓弥;粕谷英一;高橋聖生・市野隆雄;高橋聖生・半田千尋・市野隆雄;新國崇之
