加藤宙光 他: "PECVD法およびPLD法により成膜したHfO_2膜のフォトルミネッセンス解析"第63回応用物理学会学術講演会. 2巻. 725 (2002)
加藤宙光 他: "PECVD法およびPLD法により成膜したHfO_2膜のフォトルミネッセンス解析"第63回応用物理学会学術講演会. 2巻. 725 (2002)
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加藤弘光等人:“PECVD 和 PLD 方法沉积的 HfO_2 薄膜的光致发光分析”,第 63 届日本应用物理学会年会,第 2 卷 725(2002 年)。
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