Influence of cathode voltage on electrical property and crystal structure of sputter-deposited Ag thin films-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/j.vacuum.2009.06.017

发表时间：

2009-12

期刊：

Vacuum

影响因子：

4

通讯作者：

中科院分区：

材料科学2区

文献类型：

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作者：

Kazuhiro Kato;Hideo Omoto;A. Takamatsu