Impact of magnetic field configuration in HiPIMS discharge of W in Ar atmosphere
Impact of magnetic field configuration in HiPIMS discharge of W in Ar atmosphere
复制标题
磁场配置对 Ar 气氛中 W 的 HiPIMS 放电的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuhide Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuta Yamamura;Yoshikazu Teranishi;Hidetoshi Komiya;Ming Yang;Tetsuhide Shimizu
