Epitaxial Electro-optical Thin Film and Waveguide on SiO2/Si Substrate

Epitaxial Electro-optical Thin Film and Waveguide on SiO2/Si Substrate
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SiO2/Si 衬底上的外延电光薄膜和波导

DOI:
10.23919/oecc/psc53152.2022.9849935
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发表时间:
2023
期刊:
IEEE Xplore OECC
影响因子:
--
通讯作者:
Shiyoshi Yokoyama
Shiyoshi Yokoyama
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Futa Uemura;Jiawei Mao;Shiyoshi Yokoyama

文献摘要

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