CZシリコンの格子間隔と結晶内の酸素濃度の関係
CZシリコンの格子間隔と結晶内の酸素濃度の関係
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直拉硅中晶格间距与氧浓度的关系
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張小威 阿部孝夫 藤本弘之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小山寛人;梅崎栄作;久森紀之;高橋知之，斎藤友貴，田中基嗣，金原勲;H. Koyama and E. Umezaki;張小威，亀卦川卓美，藤本弘之，内田佳伯;久森紀之;田中基嗣，光井康人，飛石好輝，金原勲;張小威 阿部孝夫 藤本弘之
