ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ
ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ
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BAW滤波器用贴片压电薄膜的评价方法及ScAlN薄膜生长技术
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白寧蕊;柳谷隆彦;柳谷隆彦
