Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensors (MSS)
Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensors (MSS)
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针对高灵敏度膜型表面应力传感器 (MSS) 优化压阻悬臂梁传感器
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Rohrer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G.Yoshikawa;T.Akiyama;S.Gautsch;P.Vettiger;H.Rohrer
