レーザー支援プラズマCVD法による導電性sp3結合性BN薄膜の作製と特性評価/Characteristics of conductive sp3-bonded BN film by the laser-assisted plasma CVD
レーザー支援プラズマCVD法による導電性sp3結合性BN薄膜の作製と特性評価/Characteristics of conductive sp3-bonded BN film by the laser-assisted plasma CVD
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激光辅助等离子体CVD法制备导电sp3键合BN薄膜的特性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村拓也,小松正二郎,他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小林一昭;小松正二郎;中村拓也,小松正二郎,他
