ポーリング処理前後における強誘電性Hf0.5Zr0.5O2薄膜の不可逆的な伝導特性変化
ポーリング処理前後における強誘電性Hf0.5Zr0.5O2薄膜の不可逆的な伝導特性変化
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铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜极化处理前后不可逆导电性能变化
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
右田真司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
森田行則;太田裕之;右田真司
