"プローブ顕微鏡用高速アクチュエータの開発"エヌ・ティー・エヌ、新アクチュエータ開発の最前線
"プローブ顕微鏡用高速アクチュエータの開発"エヌ・ティー・エヌ、新アクチュエータ開発の最前線
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“探针显微镜用高速驱动器的开发” NTN，新型驱动器开发的最前沿
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内藤賀公
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菅原康弘;李艶君;内藤賀公
