MEMS-Based Mechanical Characterization of Core-Shell Silicon Carbide Nanowires for Harsh Environmental Nanomechanical Elements
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用于恶劣环境纳米机械元件的基于 MEMS 的核壳碳化硅纳米线机械表征
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Isono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nakata;K. Sugano;M. Negri;F. Rossi;G. Salyiati;A. Lugstein;Y. Isono
