プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響
プラズマ支援ミスト化学気相堆積におけるミストが製膜形状に与える影響
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等离子体辅助雾气化学气相沉积中雾气对膜形的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
節原 裕一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹中 弘祐，内田 儀一郎;節原 裕一
