电容式RF MEMS开关介质层电荷积累消除方法
电容式RF MEMS开关介质层电荷积累消除方法
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李刚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
胡杰;程超群;郭兴军;李刚
