Tadahiro Ohmi: "A New Concept Cluster Tool with a Radial Line Slot Antenna(RLSA)Plasma Source" Extended Abstract of International Symposium on Advanced ULSI Technology-Challenges and Breakthoughs. 19-23 (1998)
Tadahiro Ohmi: "A New Concept Cluster Tool with a Radial Line Slot Antenna(RLSA)Plasma Source" Extended Abstract of International Symposium on Advanced ULSI Technology-Challenges and Breakthoughs. 19-23 (1998)
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Tadahiro Ohmi：“带有径向线槽天线（RLSA）等离子体源的新概念集群工具”高级ULSI技术国际研讨会扩展摘要——挑战与突破。
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